干涉顯微鏡是用來測量精密加工零件（平面、圓柱等外表面）光潔度的儀器，也可以用來測量零件表面刻線，鍍層等深度。儀器配對各種附件，還能測量粒狀，加工紋路混亂的表面，低反射率的工件表面。同時還能將儀器安置在工件上，對大型工件表面進行測量。

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